圖 角度比較儀（測(cè)量步距約為0.001“）
成立于1889年德國(guó)柏林，在高精位置測(cè)量和控制技術(shù)領(lǐng)域處于領(lǐng)導(dǎo)地位，HEIDENHAIN擁有研發(fā)和生產(chǎn)測(cè)量設(shè)備和數(shù)控系統(tǒng)的豐富經(jīng)驗(yàn)和專業(yè)知識(shí)，專業(yè)研發(fā)和生產(chǎn)高質(zhì)量直線光柵尺和角度編碼器、旋轉(zhuǎn)編碼器、數(shù)顯裝置和數(shù)控系統(tǒng)。
基本原理和制造工藝
海德漢產(chǎn)品的高質(zhì)量源自特殊的生產(chǎn)和測(cè)量設(shè)備。光柵尺的母模版和基體是在專門設(shè)計(jì)的有特殊溫度調(diào)控和減振措施的超凈車間中生產(chǎn)的。海德漢開(kāi)發(fā)和制造直線光柵尺和圓光柵碼盤生產(chǎn)和測(cè)量所需的幾乎全部設(shè)備，包括刻線機(jī)。我們?yōu)橛脩籼峁┐罅扛叨葌�(gè)性化的直線和角度計(jì)量解決方案，充分體現(xiàn)我們的超強(qiáng)競(jìng)爭(zhēng)能力。在眾多應(yīng)用中，我們的產(chǎn)品還被大量應(yīng)用在為標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)研制的測(cè)量和檢驗(yàn)設(shè)備上，我們的角度編碼器已應(yīng)用在天文望遠(yuǎn)鏡和衛(wèi)星接收天線上。毫無(wú)疑問(wèn)，海德漢的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品也受益于其中所積累的知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)。
高精度光柵:高精度的基礎(chǔ)
海德漢公司光棚尺或編碼器的核心是我們的測(cè)量基準(zhǔn)，通常為0.25μm至10μm線寬的光柵尺。這些高精度的光柵尺采用海德漢公司發(fā)明的光刻工藝生產(chǎn) (例如DIADUR或METALLUR)，它是編碼器功能和精度的決定性因素。光柵是由一系列等間距排列的刻線和狹縫組成，其間距誤差極小，刻線邊緣整齊清晰。這些光柵尺能抵抗機(jī)械和化學(xué)以及振動(dòng)和沖擊的影響。所有測(cè)量基準(zhǔn)都具有可定義的溫度特性。
DIADUR
DIADUR精密光柵是在基板上沉淀一層極薄的鉻，基板通常為玻璃或玻璃陶瓷材質(zhì)。這種光柵尺精度可達(dá)到微米級(jí)或亞微米級(jí)。
METALLUR光柳尺具有獨(dú)特金反光層的光學(xué)材料，接近為全平面結(jié)構(gòu)。因此抗污染能力強(qiáng)。
相位光柵
采用特殊制造工藝生產(chǎn)的三維結(jié)構(gòu)光柵，具有特定光學(xué)特性。這種結(jié)構(gòu)的光柵寬度只有幾微米至四分之一微米。
SUPRADUR工藝生產(chǎn)的光柵的光學(xué)特性類似于三維結(jié)構(gòu)的相位光柵，但它具有平面結(jié)構(gòu)，因此具有超強(qiáng)的抗污染能力。
OPTODUR
OPTODUR光刻工藝生產(chǎn)的光柵具有極高反光率。它由光學(xué)三維結(jié)構(gòu)構(gòu)成，其平面結(jié)構(gòu)類似SUPRADUR光棚。MAGNODUR微米級(jí)磁膜構(gòu)成的精細(xì)磁柵。
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